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產(chǎn)品中心

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大氣機械手Blade-DD250

大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂優(yōu)化結構加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶圓，允許更多的片盒直線排布，更節(jié)省空間，適應性更強。是半導體行業(yè)的優(yōu)勢之選。 

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 手臂結構先進
    增強手臂剛性，抑制振動
  • 改進本體制造工藝
    降低成本，競爭力強
  • 個性化設計
    用戶可定制手指及接口
  • 高潔凈度
    優(yōu)選材料、加工以及表面處理
  • 肘部、腕部靈活
    任意姿勢取放晶圓，節(jié)省空間，適應性強
  • 多重安全保護
    軟件控制系統(tǒng)，防止碰撞
  • 質量可靠
    高品質零部件，精密裝配，嚴格檢驗，高壽命

Application areas

產(chǎn)品應用領域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 結構形式

    柱坐標型/SCARA型

  • 負載-名稱

    晶圓

  • 負載-直徑

    φ200mm/φ300mm

  • 負載-重量

    ≤0.5kg

  • 自由度數(shù)

    4

  • 最大回轉直徑

    425mm

  • 運動范圍-升降軸（Z軸）

    330mm

  • 運動范圍-回轉軸（T軸）

    330°

  • 運動范圍-伸展軸（R1、R2）

    820mm

  • 節(jié)拍-回轉軸（T軸）

    1s/180°

  • 節(jié)拍-伸展軸（R1、R2）

    1.2s/330mm

  • 潔凈度

    ISO CLASS 1

  • 主機重量

    70kg

  • 電源

    208VAC（50Hz/60Hz）

  • 行程

    820mm

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