6月29日-7月1日， SEMICON CHINA 在上海新國際博覽中心盛大舉辦，新松攜EFEM+真空平臺仿真模型亮相此次行業展會。

在SEMICON CHINA現場，新松展出的EFEM+真空平臺仿真模型得到現場觀眾廣泛關注。新松EFEM真空平臺產品可集成大氣機械手、晶圓對準裝置以及真空直驅機械手、真空部VPH、真空腔室等部件，是一款滿足特定應用需求的綜合性產品。產品具備一體化程度高、自動化程度高、可靠性高、適應性強等特點。

新松EFEM、真空直驅機械手、真空平臺等產品，主要應用于刻蝕、薄膜、離子注入等工藝環節，廣泛服務于硅片生產、晶圓加工、先進封裝及測試等半導體制造領域。

（圖）行業客戶蒞臨參觀

關于沈陽新松半導體設備有限公司

新松機器人的全資子公司沈陽新松半導體設備有限公司，成立于2023年，公司前身為新松機器人自動化股份有限公司半導體裝備事業部。核心團隊經過近20年的技術沉淀與經驗積累，打造了擁有完全自主知識產權的潔凈自動化核心系列產品，公司在沈陽擁有300余人的高水平技術研發團隊，10000余平方米的潔凈工廠，具有行業領先的產品開發及規模化生產交付能力。公司創新產品現已廣泛運用于各種半導體工藝制程，為世界各地的半導體設備供應商提供高效和可靠的自動化解決方案。