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立式爐Mini STK

立式爐Mini STK應用于立式爐管設備前端，適用于FOUP的轉運 、暫存和開盒。

advantages

產品優勢
  • 一體成型設計
    整機一體成型設計
  • 自主研發
    自主研發FTR機械手，適配多類型300mm FOUP
  • 搭載雙口開盒器
    后端搭載雙口開盒器（FIMS），實現Front N2 purge
  • 可選配
    可選配Shelf N2 purge

Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數
  • 外形尺寸

    1745×1100×3500（mm）

  • 工位數

    18

  • 負載

    ≤10kg

  • 重復位置精度

    ±0.1mm

  • 振動

    ≤0.3g

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